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UV光解廢氣凈化器是利用UV高能紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧氣分子結合，進而生臭氧。其反應式為：UV+O2→O+O(游離氧)?O或O+O2→O3(臭氧)運用高能UV高能紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質其降解轉成低分子化合物，水和二氧化碳，再通過風管排出。
UV光解廢氣凈化器工藝流程如下
廢氣通過風機輸送至裝置內，在裝置產生的強氧化性物質(臭氧)和紫外線及催化劑作用下，被迅速裂解，氧化，降解成低分子化合物，水氧化碳，降解產生的小分子及未反應的臭氧在zui后的堿吸收化學塔中的被洗滌除去，實現達標排放。
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